AC:100V 50/60Hz 空気源:343-686kPa 測定範囲25μm 測定力:0.01-0.3mN 顕微鏡:倍率25倍 オートレベリング付 駆動距離:0.1-30mm(デジタル表示) 駆動速度:0.003,0.03,0.3mm/s(戻り0.6mm/s) テーブル寸:φ116 最大積載径:φ200mm スイベル回転:360° レベリング範囲:±2° トラバース範囲:±6.5mm(10μm読み) 測定高さ:25mm 積載荷重:1Kgw