・観察方式：明視野/暗視野観察切替え ・照明機能：落射照明（ハロゲンランプ） ・鏡筒：正立三眼鏡筒（カメラ取付用Ｃマウント） ・接眼レンズ：CFUWN 10×/視野数26.5 ・対物レンズ：BD Plan 5/10/20/40/60×(電動レボルバー切替え機能付） ・総合倍率：50/100/200/400/600× ・ステージ移動量：200×200mm(8インチウェハホルダーステージ機構）★